微細(xì)加工技術(shù)

          《微細(xì)加工技術(shù)期刊》統(tǒng)計(jì)源期刊

          Microfabrication Technology

          《微細(xì)加工技術(shù)》雜志是統(tǒng)計(jì)源期刊,創(chuàng)辦于1983年,發(fā)行周期是雙月刊。中國電子科技集團(tuán)公司第48研究所主辦,信息產(chǎn)業(yè)部主管。主要欄目有綜述、電子束技術(shù)、離子束技術(shù)、光子束技術(shù)、薄膜技術(shù)、微機(jī)械加工技術(shù)、納米技術(shù)等。

          • 主管單位:信息產(chǎn)業(yè)部

          • ISSN:1003-8213

          • 主辦單位:中國電子科技集團(tuán)公司第48研究所

          • CN:43-1140/TN

          • 審核時(shí)間:3-6個(gè)月

          • 創(chuàng)刊時(shí)間:1983

          • 全年訂價(jià):

          • 發(fā)行周期:雙月刊

          雜志簡(jiǎn)介

          《微細(xì)加工技術(shù)》于1983年創(chuàng)刊,主要刊登有關(guān)光子束技術(shù)、薄膜技術(shù)、微機(jī)械加工技術(shù)、納米技術(shù)等,雜志與時(shí)俱進(jìn),開拓進(jìn)取,保持優(yōu)勢(shì),敢于爭(zhēng)先。

          期刊須知

          [1]參考文獻(xiàn)按國家標(biāo)準(zhǔn)GB7714-87《文后參考文獻(xiàn)著錄規(guī)則》,采用順序編碼制著錄。

          [2]注釋。注釋用于對(duì)文內(nèi)某一特定內(nèi)容的解釋或說明,其序號(hào)分別為:①、②、③…,注釋內(nèi)容置于正文之后。

          [3]作者簡(jiǎn)介放在首頁腳注,注明生年、單位、職稱和郵編。

          [4]標(biāo)題。不超過3級(jí)。分別以“一、(一)1.”表示。前兩級(jí)標(biāo)題后面一般斷行,尾部不帶句號(hào)。第3級(jí)一般不斷行,加句號(hào)。

          [5]來稿請(qǐng)附作者單位推薦信,注明單位對(duì)稿件的審評(píng)意見以及無一稿兩投、不涉及保密、署名無爭(zhēng)議等項(xiàng)。

          數(shù)據(jù)分析

          • 綜合影響因子:0.19
          • 期刊他引率:1
          • 被引半衰期:7.1667
          • 平均引文率:暫無
          名詞釋義:

          立即指數(shù):表征期刊即時(shí)反應(yīng)速率的指標(biāo),即該期刊在評(píng)價(jià)當(dāng)年刊載的論文,每篇被引用的平均次數(shù)。

          期刊他引率:期刊被他刊引用的次數(shù)占該刊總被 引次數(shù)的比例用以測(cè)度某期刊學(xué)術(shù)交流的廣度、專業(yè)面的寬窄以及學(xué)科的交叉程度。

          影響因子:指該刊在某年被全部源刊物引證該刊前兩年發(fā)表論文的次數(shù),與該刊前兩年所發(fā)表的全部源論文數(shù)之比。

          主要發(fā)文機(jī)構(gòu)分析
          機(jī)構(gòu)名稱 發(fā)文量 主要研究主題
          中國科學(xué)院 192 光刻;電子束曝光;曝光機(jī);電子束曝光機(jī);掩模
          上海交通大學(xué) 129 微機(jī)電系統(tǒng);電系統(tǒng);機(jī)電系統(tǒng);MEMS;刻蝕
          清華大學(xué) 60 微細(xì);光刻;微細(xì)加工;離子束;聚焦離子束
          中國科學(xué)技術(shù)大學(xué) 47 刻蝕;離子束;離子束刻蝕;光刻;衍射
          電子工業(yè)部 46 離子注入;注入機(jī);離子注入機(jī);半導(dǎo)體;電路
          中國科學(xué)院微電子研究所 38 光刻;掩模;X射線光刻;電子束曝光;分辨率
          中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所 34 光柵;MEMS;刻蝕;光刻;傳感
          山東大學(xué) 29 電子束;電子束曝光;曝光機(jī);電子束光刻;電子束曝光機(jī)
          山東工業(yè)大學(xué) 28 電子束曝光;曝光機(jī);電子束曝光機(jī);電子束;電路
          華中理工大學(xué) 26 刻蝕;濺射;半導(dǎo)體;等離子體;離子束

          相關(guān)雜志

          免責(zé)聲明

          若用戶需要出版服務(wù),請(qǐng)聯(lián)系出版商,地址:長沙市第96號(hào)信箱301分箱(長沙黑石鋪),郵編:410111。本站僅做歷史信息展示,不提供任何服務(wù)。

          主站蜘蛛池模板: 灵武市| 东乌珠穆沁旗| 剑阁县| 灵石县| 泸定县| 青龙| 嘉荫县| 海口市| 光山县| 庄河市| 宝应县| 读书| 大竹县| 莱芜市| 亚东县| 新龙县| 伊宁市| 嘉鱼县| 阳春市| 隆林| 宁城县| 平邑县| 文水县| 阜新| 确山县| 昌图县| 横山县| 屏山县| 黎城县| 福泉市| 乌兰察布市| 双辽市| 观塘区| 枞阳县| 平果县| 曲周县| 泊头市| 翼城县| 昌邑市| 阳高县| 怀仁县|